導讀：集微網消息，日前，北京大學、北方集成電路技術創新中心（北京）有限公司共同申請的一種低操作電壓高一致性憶阻器及其制備方法發明專利在國家知識產權局網站公布，發明人包括北京大學人工智能研究院類腦智能芯片研究中心主任楊玉超教授。 專利文件稱，隨著集...
集微網消息，日前，北京大學、北方集成電路技術創新中心（北京）有限公司共同申請的“一種低操作電壓高一致性憶阻器及其制備方法”發明專利在國家知識產權局網站公布，發明人包括北京大學人工智能研究院類腦智能芯片研究中心主任楊玉超教授。
專利文件稱，隨著集成電路產業的飛速發展，非馮諾依曼架構的存內計算和近存計算有望在未來取代傳統基于馮諾依曼體系架構的計算模式。存內計算技術的發展將催生更加強大的運算能力，有望實現強大的并行處理能力，在速度、功耗等方面有著巨大的優勢。
存內計算系統中具有存儲和計算功能的器件是整個存內計算系統中最重要的組成部分。憶阻器，或阻變存儲器件（RRAM）非常適于作為存內計算系統中的存算器件。此外，憶阻器比傳統的CMOS器件在尺寸縮小和功耗上有著不可比擬的優勢。因此，基于憶阻器的非馮諾依曼體系架構的存內計算的發展在業界和學界引起了巨大的關注。
為了能夠更好地應用到存內計算系統的硬件中，憶阻器需要具有高度可復現的連續可調的阻值。憶阻器的設計需要考慮阻值動態調整的范圍、速度及操作電壓等性能，這些特性在實現高性能高能效存內計算的硬件實現中起著重要的作用。雖然實現憶阻器的材料和器件多種多樣，但是滿足上述要求的憶阻器仍有待繼續研究，該發明的目的是提供一種具有低操作電壓高一致性的憶阻器及其制備方法，以滿足高性能高能效存內計算的硬件應用。
根據專利文件介紹，本發明通過采用MOxNy的摻氮缺陷層，制備了具有低操作電壓的憶阻器件。通過調整制備的功能層材料厚度及合理控制其成分可以實現不同阻值和操作電壓，最終實現了具有低操作電壓的憶阻器件，其制備工藝與傳統CMOS工藝相兼容，對于存內計算硬件的最終實現有著重要意義。
